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第196章 无光刻激光投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成（第1页）

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晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤，观察窗内最后一轮抛光流程刚刚结束。

郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。

“应力分布达标，表面粗糙度0.2纳米——成了！”

他猛地拍下停止键，熔炉缓缓熄火。

张海生立刻操作机械臂，泛着金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起，精准转移至隔壁的激光微刻蚀系统工位。

晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影，光滑如镜。

“启动投影编程！”

郑飞光的声音带着紧绷的兴奋。

周瑶同步在控制台输入指令，杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。

嗡鸣声中，设备顶端的蓝色光源骤然亮起。

没有实体掩膜板，只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光

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